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系统由内部移动小车、高真空观察窗、高真空样品驱动器、高真空抽气机组等多种真空零部件组成
真空系统可在不破坏真空环境的情况下,取出所需工件,系统可以设置真空节点,以此来适应不同的真空需求
真空阀门——超高真空挡板阀、高真空挡板阀、电磁挡板阀、真空充气阀(破真空阀)等。阀门驱动方式有:手动、气动。适用温度范围:-30℃——400℃,适用压力范围正常气压到1.0*10^-7Pa。
真空腔体按照客户给订尺寸加工成型,或由我公司按照客户要求代为出图加工成型。出厂漏率优于5.0*10^-10Pa.L/S
真空配件——真空成型波纹管、真空焊接波纹、CF高真空金属密封法兰、真空三通、四通、短接头、焊接法兰、盲法兰、管接头、卡箍、无氧铜垫圈等各类真空管路连接件。