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真空系统的常见问题有哪些?

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真空系统的常见问题有哪些?

发布日期:2024-10-07 作者: 点击:

真空系统的常见问题有哪些?


真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套系统,广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。该系统在使用过程中可能会遇到多种常见问题,以下是对这些问题的归纳:


一、真空泄漏

真空泄漏是真空系统常见的问题之一,泄漏会导致真空度下降,影响系统的正常运行。泄漏通常发生在真空管道的连接处和真空容器的连接处。为解决这一问题,可以采取以下措施:


检查所有连接处和接头是否紧密,并使用专用密封胶修 复破损的密封处。

通过注入氦气或氮气等易检测的气体来寻找泄漏点,并使用探测器进行追踪。

如果系统中存在微小孔隙,可以使用真空度较低的系统进行烘烤,挥发掉其中的气体,并修 复孔隙。

二、泵故障

泵是真空系统中不可或缺的部分,如果泵出现故障,将导致真空度下降或系统无法运行。泵故障可能表现为噪音、振动、漏油等现象。为解决这一问题,可以采取以下措施:


检查泵的安装是否稳固,如未正确安装,可使用支架或减振器进行修 复。

如发现泵漏油,应立即停机,并在清洁工作台上检查泵的油封。对于磁悬浮离心泵,还需检查磁轴处是否有磨损。

对于循环水泵,应定期检查水泵的冷 却水供应是否正常,并进行清洁和维护。

三、污染物问题

 真空系统

真空系统中的污染物可能对正常运行产生很大影响,污染物可能来自系统中的材料、流体或气体。为解决这一问题,可以采取以下措施:


在组装真空系统时,选择具有较低挥发性和较好化学稳定性的材料,以减少污染物的释放。

定期对系统中的流体进行检查和更换,防止水分、油份或其他杂质积聚。

使用适当的过滤器或气体净化器来净化进入系统的空气或气体,降低其污染程度。

四、高压问题

真空系统在某些特定应用中可能需要承受高压,例如高真空环境下的电子束焊 接。然而,高压可能引起系统中的电晕放电或其他故障。为解决这一问题,可以采取以下措施:


使用绝缘材料或电晕管等来防止电晕放电,这些设备可以将高电压转移到固定位置,避免对系统产生影响。

定期检查高压部件,确保其正常运行和绝缘状态。

在高压区域周围设置适当的安全措施,防止操作人员受到电击。

综上所述,真空系统的常见问题包括真空泄漏、泵故障、污染物问题和高压问题等。为解决这些问题,需要定期检查和维护系统,并采取适当的措施进行修 复和预防。


相关标签:真空阀门,真空腔体,真空系统

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